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供应超纯水-从天然水到超纯水的过程


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发布时间:2024-05-14 08:50

水中所含不纯物极少的水,称为纯水。将此纯水更进一步纯化后的水,称为“超纯水”,取“UltraPure Water”的开头字母缩写为UPW。

超纯水供应系统

根据工厂的地理条件等不同,使用的天然水有工业用水、河流、地下水等。

超纯水的工艺必须根据天然水的水质进行优化。此外,根据生产线生产的产品(半导体类型)的不同,对超纯水的规格有不同的要求。

在将天然水转化为超纯水的过程中,必须首先通过冷凝浮上设备和过滤器去除天然水中不溶于水的浮游物质(也称SS):SuspendedSolids)。然后通过去碳塔,去除水中的碳粒。

下一步,利用反渗透RO设备(RO: Reverse Osmosis反渗透膜)去除水中的不纯物体,通过离子交换树脂去除金属离子,通过U>(紫外线)分解去除有机物体,通过真空脱气去除氧气等气体。重复这个过程,最后通过超细滤网(UF: Ultra Filter),提供给每个供水点。

超纯水的供应速度为每秒1.5m

由于转换超纯水必须避免接触空气,或者在输送到各个供水点之前被配送管道或储水槽污染,因此配送管道必须在固定时间或根据需要进行过氧化氢(H202)清洗,然后用UPW更换。

此外,在超纯水的运输过程中,一旦流速减慢,就容易产生污染,因此必须每秒保持1.5m的恒定流速。

以上是纯净水供应系统的主要流程,通常将新送入的天然水转化为超纯水。使用后的回收水也可以通过同样的流程重复使用。换句话说,从供水点回收的水经过活性碳塔、离子交换塔、RO设备、UV氧化槽、过氧化氢(H202)去塔处理后,可以引导回到主流程进行再利用。

超纯水的输送量根据工厂的规模而有所不同,但可以略微估计为每天数千吨的数量级。